单项选择题 离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

单项选择题 在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。

多项选择题 离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。