单项选择题
离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。
A.等离子体 B.不等离子体 C.正离子体 D.液电流
多项选择题 离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。
多项选择题 半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。
单项选择题 硅烷的分子式是（）。
