单项选择题
下列属于固态源扩散的是（）
A.五氧化二磷 B.硼酸三甲酯 C.氮化硼
单项选择题 下列属于涂布源扩散的是（）
单项选择题 下列属于液态源扩散的是（）
单项选择题 硅片表面污染的杂质，原子型杂质可分为（）
