问答题
光刻的本质是什么？
光刻就是将掩膜版（光刻版）上的几何图形转移到覆盖在半导体衬底表面的对光辐照敏感的薄膜材料（光刻胶）上去的工艺过程。
问答题 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶？
问答题 什么是负性光刻？正性光刻？
问答题 根据成像结果的不同，光刻胶可分为哪两种类型，其中哪种成本较低且应用较早？
