相关考题
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单项选择题
用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。
A.蒸镀
B.离子注入
C.溅射
D.沉积 -
多项选择题
真空镀膜室是由（）几部分组成。
A.钟罩
B.蒸气源加热器
C.衬底加热器
D.活动挡板
E.底盘 -
单项选择题
真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。
A.隔挡气体交换
B.控制蒸发的过程
C.辅助热量交换
D.温度调节
