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单项选择题
RF电源在放电工作时有时会导致真空计读数异常是由于（）高频特性。
A.反射
B.放射
C.折射
D.投射 -
单项选择题
硅基板需要在哪里镜面研磨？（）
A.CPM
B.CMP
C.MPC
D.PMC -
单项选择题
为了提高转子和腔体的耐腐蚀性和耐磨性，会对铝材表面做什么处理？（）
A.硬质氧化膜处理
B.特氟龙涂层处理
C.电镀黑化处理
D.抛光镜面处理
