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单项选择题
硅基板需要在哪里镜面研磨？（）
A.CPM
B.CMP
C.MPC
D.PMC -
单项选择题
为了提高转子和腔体的耐腐蚀性和耐磨性，会对铝材表面做什么处理？（）
A.硬质氧化膜处理
B.特氟龙涂层处理
C.电镀黑化处理
D.抛光镜面处理 -
单项选择题
哪种材料可以经济稳定地供给半导体产业？（）
A.Si H4
B.HS
C.F
D.Si
