单项选择题
在热扩散工艺中的预淀积步骤中，砷和锑的扩散温度为（）。
A.1050～1200℃
B.900～1050℃
C.1100～1250℃
D.1200～1350℃
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单项选择题
扩散炉中的管道一般都是用（）制作。
A.陶瓷
B.玻璃
C.石英
D.金属 -
多项选择题
下列可作为磷扩散源的是（）。
A.磷钙玻璃
B.三氯氧磷
C.三氯化磷
D.磷烷
E.掺磷二氧化硅乳胶源 -
多项选择题
下列扩散杂质源中，（）不仅是硅常用的施主杂质，也是锗常用的施主杂质。
A.硼
B.锡
C.锑
D.磷
E.砷
