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多项选择题
下列可作为磷扩散源的是（）。
A.磷钙玻璃
B.三氯氧磷
C.三氯化磷
D.磷烷
E.掺磷二氧化硅乳胶源 -
多项选择题
下列扩散杂质源中，（）不仅是硅常用的施主杂质，也是锗常用的施主杂质。
A.硼
B.锡
C.锑
D.磷
E.砷 -
单项选择题
半导体硅常用的受主杂质是（）。
A.锡
B.硫
C.硼
D.磷
