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全部科目 > 通信电子计算机技能考试 > 集成电路制造工艺员 > 集成电路制造工艺员(三级)

多项选择题

下列可作为磷扩散源的是()。

    A.磷钙玻璃
    B.三氯氧磷
    C.三氯化磷
    D.磷烷
    E.掺磷二氧化硅乳胶源

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