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全部科目 > 通信电子计算机技能考试 > 半导体芯片制造工 > 半导体制造技术

问答题

论述题

Si-SiO2界面电荷有哪几种?简述其来源及处理办法。

    【参考答案】

    可动离子电荷Qm来源:主要来源于Na+等网络改变者。解决办法:为了降低Na+的玷污,可以在工艺过程......

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