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单项选择题
半导体电阻率的范宽是多少？（）
A.10位数
B.11位数
C.12位数
D.13位数 -
单项选择题
由于保养作业的失误造成靶材和地线短路会发生（）。
A.正常放电
B.成膜
C.异常放电
D.等离子 -
单项选择题
检漏仪吸枪校正时采用通道类型的标准漏孔所供给的氦压力是（）。
A.0.2MPa
B.0.1MPa
C.1MPa
D.2MPa
