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多项选择题
下列哪几项属于计测类规格品产品？（）
A.干泵
B.真空计
C.气体分析仪
D.DC电源 -
多项选择题
低温泵的构成包含哪些组件？（）
A.泵体
B.屏蔽桶
C.1段/2段冷头
D.15K/80K挡板 -
多项选择题
基板温度控制时，基板冷却、加热方式有（）。
A.追加HeBP
B.Chiller
C.加热器
D.空气冷却
