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多项选择题
低温泵的构成包含哪些组件？（）
A.泵体
B.屏蔽桶
C.1段/2段冷头
D.15K/80K挡板 -
多项选择题
基板温度控制时，基板冷却、加热方式有（）。
A.追加HeBP
B.Chiller
C.加热器
D.空气冷却 -
单项选择题
离子源中，将Ir灯丝加热到（）℃后，热电子e-就会释放。
A.800-1000℃
B.1000-1200℃
C.1200-1400℃
D.1400-1600℃
