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单项选择题
半导体中IGBT是什么意思？（）
A.绝缘栅双极晶体管
B.金属氧化物半导体场效应晶体管
C.结型场效应管晶体管
D.双极晶体管 -
单项选择题
硅片干蚀刻前必须要做什么？（）
A.CMP
B.涂抹光刻胶
C.清洗
D.干燥 -
单项选择题
关于Beamline的功能，不正确的是（）。
A.引出离子束
B.对束流加速
C.对束流整形
D.对束流聚焦
