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单项选择题
硅片干蚀刻前必须要做什么？（）
A.CMP
B.涂抹光刻胶
C.清洗
D.干燥 -
单项选择题
关于Beamline的功能，不正确的是（）。
A.引出离子束
B.对束流加速
C.对束流整形
D.对束流聚焦 -
单项选择题
隔膜真空计精度比较高，误差大约是（）。
A.±0.5%
B.±0.1~0.3%
C.±0.4%
D.±1%
