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单项选择题
关于Beamline的功能，不正确的是（）。
A.引出离子束
B.对束流加速
C.对束流整形
D.对束流聚焦 -
单项选择题
隔膜真空计精度比较高，误差大约是（）。
A.±0.5%
B.±0.1~0.3%
C.±0.4%
D.±1% -
单项选择题
CVD法成膜使用气体原料，通过分解还原、（）、置换等化学反应使薄膜凝结在基板表面的成膜方法。
A.氧化
B.蒸发
C.电离
D.挥发
