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多项选择题
RF电源可用在（）材料。
A.绝缘物
B.电介质
C.金属
D.等离子 -
多项选择题
油扩散泵包含哪些部件组成？（）
A.泵壳
B.转子
C.加热器
D.喷射塔 -
多项选择题
以下属于硅掺杂设备是（）。
A.曝光机
B.热扩散炉
C.离子注入机
D.CVD
