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多项选择题
油扩散泵包含哪些部件组成？（）
A.泵壳
B.转子
C.加热器
D.喷射塔 -
多项选择题
以下属于硅掺杂设备是（）。
A.曝光机
B.热扩散炉
C.离子注入机
D.CVD -
多项选择题
不属于电离真空计规管的组件是（）。
A.磁铁
B.离子收集器
C.栅极
D.阳极片
