相关考题
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多项选择题
以下属于硅掺杂设备是（）。
A.曝光机
B.热扩散炉
C.离子注入机
D.CVD -
多项选择题
不属于电离真空计规管的组件是（）。
A.磁铁
B.离子收集器
C.栅极
D.阳极片 -
多项选择题
下列属于低真空范围内使用的真空泵是（）。
A.低温泵
B.罗茨泵
C.分子泵
D.螺杆泵型干泵
