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单项选择题
真空容器Q，其内部压力为P，通过流导为C的配管与排气速度为Sp的真空泵直连，则实际排气速度Se是（）。
A.Se=Sp+C
B.Se=1/Sp+1/C
C.1/Se=1/Sp+1/C
D.1/Se=Sp+C -
单项选择题
Plasma-CVD的原料分子是靠什么来分解的？（）
A.高温
B.离子
C.电子
D.光子 -
单项选择题
还原硅气相成长的硅纯度可以达到多少？（）
A.9N
B.10N
C.11N
D.12N
