问答题
简答题
什么是浅槽隔离（STI），它取代了什么工艺？
【参考答案】
浅槽隔离（STI）是在衬底制作的晶体管有源区之间隔离区的一种可选工艺。
取代了局域氧化工艺（LOCOS）
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