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多项选择题
可用于多孔纳米晶薄膜的材料有（）。
A.TiO2
B.SnO2
C.ZnO
D.Al2O3 -
多项选择题
辉光放电系统中的I-V特性曲线可分为（）阶段。
A.电弧放电
B.异常放电
C.汤森放电
D.正常放电 -
多项选择题
化学气相沉积直接制备多晶硅薄膜的方法有（）。
A.热丝化学气相沉积制备多晶硅
B.低压化学气相沉积制备多晶硅
C.非晶硅晶化制备多晶硅薄膜
D.等离子增强化学气相沉积
