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多项选择题
晶片表面上的粒子是通过（）到达晶片的表面。
A.粒子扩散
B.从气体源通过强迫性的对流传送
C.化学反应
D.被表面吸附
E.静电吸引 -
单项选择题
薄膜沉积的机构，依发生的顺序，可以分为这几个步骤。其中不包括（）。
A.形成晶核
B.晶粒自旋
C.晶粒凝结
D.缝道填补 -
单项选择题
硅晶片上之所以可以产生薄膜，出始于布满在晶片表面的许多气体分子或其它粒子，它们主要是通过（）到达晶片表面的。
A.粒子的扩散
B.化学反应
C.从气体源通过强迫性的对流传送
D.被表面吸附
