多项选择题
晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。
A.除去光刻胶中剩余的溶剂
B.增强光刻胶对晶片表面的附着力
C.提高光刻胶的抗刻蚀能力
D.有利于以后的去胶工序
E.减少光刻胶的缺陷
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多项选择题
有关光刻胶的显影下列说法错误的是（）。
A.负胶受显影液的影响比较小
B.正胶受显影液的影响比较小
C.正胶的曝光区将会膨胀变形
D.使用负胶可以得到更高的分辨率
E.负胶的曝光区将会膨胀变形 -
单项选择题
下列哪些因素不会影响到显影效果的是（）。
A.显影液的温度
B.显影液的浓度
C.显影液的溶解度
D.显影液的化学成分 -
多项选择题
下列有关ARC工艺的说法正确的是（）。
A.ARC可以是硅的氮化物
B.可用干法刻蚀除去
C.ARC膜可以通过PVD或者CVD的方法形成
D.ARC在刻蚀中也可做为掩蔽层
E.ARC膜也可以通过CVD的方法形成
