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单项选择题
离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。
A.电极
B.分析器
C.加速器
D.腔体 -
单项选择题
在磁分析器中常用（）分析磁铁。
A.柱形
B.扇形
C.方形
D.圆形 -
单项选择题
为了解决中性束对注入均匀性的影响，可在系统中设有（），使离子束偏转后再达到靶室。
A.磁分析器
B.正交电磁场分析器
C.静电偏转电极
D.束流分析仪
