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单项选择题
离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。
A.中子源
B.离子源
C.电子源
D.质子源 -
单项选择题
早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。
A.重离子加速器
B.热扩散炉
C.质子分析仪
D.轻离子分析器 -
单项选择题
（）的气体源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等离子。
A.Cl2
B.BCl3
C.CO2
D.H2
