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多项选择题
离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。
A.砷化氢
B.二硼化氢
C.四氟化硅
D.三氟化磷
E.五氟化磷 -
单项选择题
离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。
A.中子源
B.离子源
C.电子源
D.质子源 -
单项选择题
早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。
A.重离子加速器
B.热扩散炉
C.质子分析仪
D.轻离子分析器
