问答题
简述台阶覆盖与接触孔口。
准直溅射技术是在高真空溅射时，在衬底正上方插入一块有高纵横比孔的平板，称为准直器。溅射原子的平均自由程足够长，则在准直器......
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问答题 热蒸发制备薄膜的过程有哪些？
问答题 气体直流辉光放电分为哪几个区？其中辉光放电区包括哪几个区？溅射区域选择在哪个区？
问答题 APCVD、LPCVD、PECVD和HDPCVD中文名称分别是？
