问答题
干法刻蚀有哪几种？相应的内容是什么？
物理性刻蚀、化学性刻蚀和物理化学性刻蚀。1）物理性刻蚀-溅射刻蚀：等离子体中的离子或高能原子对衬底进行轰击，......
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问答题 什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。
问答题 光刻的本质是什么？
问答题 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶？
