多项选择题
二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。
A.比色法 B.双光干涉法 C.椭圆偏振光法 D.腐蚀法 E.电容-电压法
多项选择题 二氧化硅膜的质量要求有（）。
多项选择题 解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。
多项选择题 二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。
