问答题
简述几种常用的氧化方法及其特点。
制备SiO2的方法有很多，热分解淀积、溅射、真空蒸发、阳极氧化法、化学气相淀积、热氧化法等。热生长法制备的SiO2质量好......
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问答题 什么是两步扩散工艺，其两步扩散的目的分别是什么？
问答题 假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。
问答题 以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
