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单项选择题
（）是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积技术。
A.蒸镀
B.离子注入
C.溅射
D.沉积 -
单项选择题
用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。
A.蒸镀
B.离子注入
C.溅射
D.沉积 -
多项选择题
真空镀膜室是由（）几部分组成。
A.钟罩
B.蒸气源加热器
C.衬底加热器
D.活动挡板
E.底盘
